株式会社IHI回転機械エンジニアリング

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半導体・太陽電池・その他スラリーリサイクルシステム

クーラント高回収システム

太陽電池・半導体の製造工程プロセス中の外周・平面切削工程で発生する外周・平面切削廃水をリサイクル。
無薬注でろ過し、90%を再利用可能とした完全密閉式の全自動運転システムです。
廃水処理設備の負荷低減はもとより、副産物として、シリコン粉の抽出も可能となりました。

図1.真空蒸留システム(外観)

図2.回収サンプル


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その他

スラリー条件によっては、ろ過システムのご提案が可能です。
お客様の目的に合わせた膜を選定し、様々な条件のテストも可能です。

図3..回収サンプル

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