株式会社IHI回転機械エンジニアリング

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半導体・太陽電池・その他スラリーリサイクルシステム

当社は、半導体関係のシリコンウエハ製造工程のシリコン・砥粒・クーラント・水のリサイクルおよび廃棄物の削減システムを開発し、多くの実績を残しております。この実績と信頼を基に、太陽電池ウエハ・水晶単結晶チップのリサイクルシステムにも進出し、高い評価を頂いております。
大量に使用する材料を再利用し、またスラリーの供給・排出までの工程を全て自動で行うなどランニングコストの低減が可能となります。


ダイヤモンドスラリーリサイクルシステム(DSRS)

ワイヤーソースラリーリサイクルシステム(WSRS)

外周・平面切削水回収システム

クーラント高回収システム・その他

多種多様なスラリーの分離・ろ過テストについても、ご相談ください。

レアメタルに代表されるような高付加価値資源や、回収する事により再利用のメリットがあり、ランニングコストの低減が予想される有価物など、全てが当社リサイクルシステムの対象です。
様々な分離テスト検証、また設備導入のみではなく、お客様にかわり当社が保有する蒸留・濾過・遠心分離装置などを用いての再生品の受託供給のご提案も可能です。

実証例(テスト含む)

SI、SIC、サファイア、ダイヤモンド、水、クーラント、海面活性剤、その他

製品に関するお問い合わせ

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