クリーン環境での搬送に先進の技術でお応えします。
IHIでは、生産システム・搬送分野での要素開発・システム開発に積極的に取り組み、常に新しいソリューションをご提案しています。
クリーン
クリーン
ガラス基板搬送システム
大型化するフラットパネルディスプレイ用ガラス基板に対応。
- IHIでは大型化する基板に対応し、機器の開発から工場全体のレイアウトまでご提案いたします
- 高スループット化・フットプリントの最小化など、多様なお客様のニーズにお応えいたします
ランダムアクセスバッファ
第８世代ガラス基板用スタッカークレーン
クリーンＡＧＶ
エアー浮上式コンベア
半導体・ウエハ搬送システム
枚葉・非接触ハンドリングを実現。
- IHIは半導体・ウエハ生産ラインの保管・搬送設備をトータルラインナップしております
- 次世代保管・搬送設備をキーハードとして最先端の生産ラインを提案いたします
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