半導体・太陽電池・その他スラリーリサイクルシステム
クーラント高回収システム
太陽電池・半導体の製造工程プロセス中の外周・平面切削工程で発生する外周・平面切削廃水をリサイクル。
無薬注でろ過し、90％を再利用可能とした完全密閉式の全自動運転システムです。
廃水処理設備の負荷低減はもとより、副産物として、シリコン粉の抽出も可能となりました。
図1.真空蒸留システム（外観）
図2.回収サンプル
その他
スラリー条件によっては、ろ過システムのご提案が可能です。
お客様の目的に合わせた膜を選定し、様々な条件のテストも可能です。
図3..回収サンプル