株式会社IHI回転機械エンジニアリング

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半導体・太陽電池・その他スラリーリサイクルシステム

ダイヤモンドスラリーリサイクルシステム(DSRS)

太陽電池・半導体の他、LEDサファイアインゴットのスライス廃液のリサイクルにも対応可能。クーラントを回収再利用することにより、ランニングコストを低減。スライス毎のクーラントの交換作業も、スラリー自動供給・排出機能によりご負担を低減致します。


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図1.DSRS-255S(外観)

ダイヤモンドスラリーリサイクルシステム(DSRS)の特徴

スライス中に連続的にシリコンを除去し、クーラントを回収、再利用することでスライス中のシリコン濃度の安定化を実現するシステムです。

図2.遠心分離機 (外観)

図3.リサイクルシステムモデル

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