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IRMでは幅広い実績と最先端の技術⼒を活かして、お客様のニーズにお応えする
各種プロセスに最適な分離・濾過プラントをトータルコーディネートしています。

スラリーのワイヤーソースラリーリサイクルシステム（WSRS）

スラリー

【スラリーリサイクルシステム】半導体関係のシリコンウエハ製造⼯程のシリコン‧砥粒‧クーラント‧⽔のリサイクルおよび廃棄物の削減システムを開発し、多くの実績を残しております。材料の
再利⽤、スラリーの供給‧排出までの⼯程を全て⾃動で⾏うことでランニングコストの低減が可能となります。

スクリュウデカンタ遠心分離機のスキッド化例

付帯設備

分離‧濾過機を中⼼に、ポンプ、タンク、配管、弁、制御盤、電気、計装などプラント⼀式をシステムで提供します。⽤途や
設置環境にあわせた信頼の品質をベースにお客様それぞれの条件に応じた、⼤⼩様々なプラントづくりを⾏っています。

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