エンジニアリング

ENGINEERING

スラリー

半導体・太陽電池・その他スラリーリサイクルシステム

半導体関係でのシリコンウエハ製造工程のシリコン・砥粒・クーラント・水のリサイクルおよび廃棄物の削減システムを開発し、多くの実績を残しております。この実績と信頼を基に、太陽電池ウエハ・水晶単結晶チップのリサイクルシステムにも進出し、高い評価を頂いております。大量に使用する材料を再利用し、またスラリーの供給・排出までの工程を全て自動で行うなどランニングコストの低減が可能となります。

特長

  • 2段遠心分離法による砥粒、切り粉の分離(特許保有)
  • ランニングコストの大幅低減
  • 全自動運転による人件費低減
  • スラリー状態で回収可能!粉状の回収ではないため、省エネルギー&薬品不要
  • ワイヤーソーとのスラリー供給・排出の全自動運転 ※オプション仕様
 

構造・原理

  • 自社の遠心分離機を用いたスキッドタイプ

主な用途

  • 半導体シリコンウェハー加工時の有価物回収
  • 太陽電池シリコンウェハー加工時の有価物回収
  • 水晶用シリコンウェハー加工時の有価物回収

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