クリーン環境FAシステム
クリーン環境FAシステム
今後ますます高精細化するディスプレイやフレキシブルディスプレイ向けに、様々なラインナップを用意。
単体装置から一貫生産システムまで提供が可能です。
クリーン環境用スタッカークレーン
- 高クリーン度対応
- G2からG10までの豊富なラインナップ
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G8.5高クリーン対応クレーン
Roll to Sheet
- 極薄ガラス~フィルムシート対応
- 貼り合わせ装置(オプション)との組合せ可能
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エア浮上式コンベア
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ロール to シート
レーザカット装置
- ガラス・フィルム・複層シートカット対応
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レーザリフトオフ(LLO)装置
気流解析(3Dシミュレータ)
- 静的解析~動的解析対応
- 局所クリーン対応可能
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