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株式会社IHI機械システム

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新素材製造設備

概要

IHIの焼結炉・焼成炉は、鉄・ステンレス・サーメット・超硬合金・各種セラミックスなど多種材料の焼結処理用として、約30年に亘り多数の納入実績を有しております。竪型・横型・高温(最高2550℃)・高圧(最高10MPa)・連続(トンネル型,多室型)タイプを取り揃え、高生産性への対応、新素材商品の開発など様々なお客さまのニーズに適切にお答えいたします。

炭素材処理炉は石炭・石油ピッチを原料とする炭素繊維向け炭化炉・黒鉛化炉、炭素繊維複合材向けピッチ含浸炉、高温黒鉛化炉、半導体製造装置に使用される炭素材の高純度処理用純化炉などメニューを取り揃えております。高温黒鉛化炉は最高3000℃昇温ができますので、LiB用負極材を含む各種材料の焼成・熱処理が可能です。

また、炭素繊維製造設備である連続式不融化炉、炭化炉も対応できます。

焼結炉・焼成炉

竪型焼結炉
竪型焼結炉

特長

設置場所、処理品により下部装入/上部装入/側面装入方式の選択が可能です。
真空~加圧(0.9MPa)領域において優れた温度均一性を発揮します。
加圧・ガスファン冷却の採用により冷却時間を短縮します。
インナーマッフルの採用により脱脂・焼結時のアウトガスから炉材を保護します。
高効率ワックストラップの採用

用途

  • 各種金属・セラミックス材料の脱脂・焼結処理(焼結時に自重による変形を嫌う長尺物の焼結などに適します)
 
横型焼結炉
横型焼結炉

特長

操作性・メンテナンス性に優れたサイドドア形式
真空~加圧(0.9MPa)領域において優れた温度均一性を発揮します。
加圧・ガスファン冷却の採用により冷却時間を短縮します。
インナーマッフルの採用により脱脂・焼結時のアウトガスから炉材を保護します。
高効率ワックストラップの採用

用途

  • 各種金属・セラミックス材料の脱脂・焼結処理
 
高圧焼結炉(竪型・横型)
高圧焼結炉(竪型・横型)

特長

用途に合わせ竪型、横型を選択可能
真空~高圧(9.8MPa)領域において優れた温度均一性を発揮します。(1200℃,9.8MPaにて測定用熱電対9点が巾6℃以内)
1炉で脱脂、真空焼結、高圧焼結の連続処理が可能
水冷フィンドア(IHIパテント)採用により冷却時間を短縮します。
インナーマッフルの採用により脱脂・焼結時のアウトガスから炉材を保護します。
高効率ワックストラップの採用

用途

  • 各種金属・セラミックス材料の脱脂・焼結処理

仕様・処理量

高圧焼結炉(竪型・横型) 仕様処理量
多室型・連続焼結炉
横型焼結炉

特長

バッチ炉と比較し数倍から数十倍の生産性
優れた温度均一性により安定して高品質を維持できます。
プロセスに応じた室構成が可能

用途

  • 各種金属・セラミックス材料の脱脂・焼結処理
 

黒鉛化炉・純化炉

誘導加熱式連続黒鉛化炉
誘導加熱式連続黒鉛化炉

用途

LiB負極材の黒鉛化処理
その他の黒鉛材の黒鉛化処理

仕様・処理量

誘導加熱式連続黒鉛化炉 仕様・処理量
竪型誘導加熱式黒鉛化炉
竪型誘導加熱式黒鉛化炉

用途

低揮発分原料の黒鉛化
その他の熱処理
固形物の焼成・黒鉛化

仕様・処理量

竪型誘導加熱式黒鉛化炉 仕様・処理量
直接通電式超高温黒鉛化炉
直接通電式超高温黒鉛化炉

用途

負極材の超高温黒鉛化処理
その他黒鉛材の高温黒鉛化処理
 

仕様・処理量

直接通電式超高温黒鉛化炉 仕様処理量
直接通電式黒鉛化炉(ハイブリッドホットプレス)
直接通電式超高温黒鉛化炉(ハイブリッドホットプレス)

用途

LiB負極材の黒鉛化処理
その他の黒鉛材の黒鉛化処理
 

仕様・処理量

直接通電式黒鉛化炉(ハイブリッドホットプレス) 仕様処理量
抵抗加熱式黒鉛化炉
抵抗加熱式黒鉛化炉

用途

ロケット用黒鉛部材の黒鉛化処理
粉体・成形体・シート状の各種炭素材の黒鉛化
環境エネルギー関連
太陽電池セル・ウェハ製造用、原子力、燃料電池、二次電池材料、航空宇宙
エレクトロニクス関連
半導体製造用、液晶パネル製造用、ハードディスク製造用
機械用カーボン製品、摺動部用製品、炭素繊維、複合材料
 
高純化炉
高純化炉

特長

マッフル採用により、プロセスガスであるハロゲンガスが外部に漏れにくく少量のハロゲンガス消費量にて効率良く純化が可能
ハロゲンガス耐食性を持たせた炉体構造・構成
マッフル内外同圧制御により、マッフル外不活性ガス影響の低減、効率良く純化が可能
真空排気系にガス冷却管とバグフィルター式トラップ採用により反応生成物を効率よく捕集

用途

  • 半導体製造装置に使用される炭素材の高純度処理用
 

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